1、磨損;

磨損是真空泵配件常見的一種失效模式，一種是在有潤滑條件下，零部件之間接觸表面的摩擦磨損，常發生在齒輪、缸體、葉片、轉子滑動軸承、滾動軸承中。這類磨損速度緩慢，磨損失效主要與潤滑、密封條件有關。另一種是在無潤滑條件下，零件相互摩擦或物料對零件表面摩擦所造成的磨損，這在真空泵中尤其突出。如聯軸器、2X泵的皮帶輪、螺桿真空泵的雙螺桿等等。這類磨損速度比前者快得多，主要與金屬材料性能與物料性質有關。對于油式真空泵來講，潤滑中的磨損尤為突出，大多由于真空泵油變質，以及外來雜質導致潤滑不暢導致。

2、疲勞破斷;

疲勞是一種失效機理，產生裂紋是一種失效模式。它們常常最后導致零件的破斷。這種疲勞破斷失效過程一般都存在于受交變負荷的件中。的輪齒、常見于聯接螺栓、地腳螺栓、彈簧等零件，也會發生齒輪傳動軸等重要零件中。疲勞破斷所牽涉的因素很多，需要針對失效零件作具體分析，找出原因采取對策。                                   .

3、變形;

變形也是真空泵零件常見的一種失效模式.由于泵浦在高速運行時會產生一定的高溫。諸如殼體、板件等常處于受熱狀態，‘最易發生.逐步產生的塑性變形，不能恢復零部件原有的幾何尺寸與形狀，嚴重時將造成設備故障。如密封圈，油封等。

4、腐蝕;

腐蝕是真空泵零件失效的又一種模式。常見于工藝較為復雜的PCB，化工等工況下運行的真空泵中。