對各種真空泵的性能，都有規定的測試方法來檢測其性能的優劣，真空泵的主要性能有： 

一、極限壓力： 

將真空泵與檢測容器相連，放入待測的氣體后，進行長時間連續地抽氣，當容器內的氣體壓力不再下降，而維持一定值時，此壓力即為泵的極限壓力，其單位用Pa表示。 

二、流量：

在真空泵、羅茨水環真空機組的吸氣口處，單位時間內流過的氣體量稱為泵的流量。在真空技術中，流量的單位用壓力*體積/時間來表示。表示泵要流出流量與入口壓力的關系曲線。 

三、抽氣速率： 

在真空泵的吸口處，單位時間內流過的氣體的體積稱為泵的抽氣速率。一般真空泵的抽氣速率與氣體種類有關。