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影響滑閥式真空泵極限真空度原因探究
滑閥式真空泵的極限全壓力主要由極限壓力（不可凝氣體的壓力） 和飽和蒸汽壓（可凝氣體的壓力）組成。滑閥式真空泵泵腔內的各運動部件間由于存在一定的間隙，在氣體壓縮排出階段會有部分氣體因壓力超過進氣壓力而通過間隙返流，而進氣口端潤滑油的飽和蒸汽壓與返流無關，因此返流影響滑閥式真空泵的極限壓力。
下面迅達真空泵和大家討論下間隙對滑閥式真空泵極限壓力的影響。對于單級滑閥式真空泵，返流造成的抽速損失為：
由于滑閥式真空泵內的氣流屬于粘滯流，所以可設：
式中S 損失—— 單級滑閥式真空泵的抽速損失
Q 返流—— 單級滑閥式真空泵的返流的氣體流量
P 排—— 單級滑閥式真空泵的排氣壓力
P 進—— 單級滑閥式真空泵的進氣壓力
C 間隙—— 滑閥式真空泵各主要運動件之間間隙的流導
滑閥式真空泵間隙總的流導系數
滑閥式真空泵在進氣壓力達到極限壓力時，滑閥式真空泵的實際抽速為零，排氣閥一直關閉，可得：
當滑閥式真空泵達到極限壓力時，滑閥式真空泵的實際抽速為零，即有：
式中S 理論—— 單級滑閥泵的理論抽速
P 極限—— 單級滑閥泵的理論極限壓力
P 大氣—— 大氣壓力
上式推出單級滑閥泵的理論極限壓力P 極限與間隙的關系，滑閥泵的實際極限壓力總是大于理論極限壓力P 極限，實際運行中，滑閥泵需要潤滑油潤滑和密封，潤滑油的密封效果越好，實際極限壓力與理論極限壓力越接近；潤滑油的密封效果越差，實際極限壓力與理論極限壓力相差越大，滑閥泵的理論極限壓力是實際極限壓力的基礎。同時，由于間隙的大小會影響潤滑油的密封效果，由此可以得出這樣一個結論：單級滑閥泵的間隙越小，則泵的理論極限壓力越低，潤滑油的密封效果好，從而使得滑閥泵的實際極限壓力低。
雙級滑閥泵是由高真空級與低真空級串聯而成，下文用高缸代表高真空級，用低缸代表低真空級。同理，對于雙級滑閥泵，返流造成的低缸的抽速損失由上文可得：
式中S 低缸理論—— 雙級滑閥泵低缸的理論抽速
P 低缸極限—— 雙級滑閥泵低缸的極限壓力
P 大氣—— 大氣壓力
K 低缸—— 雙級滑閥泵低缸間隙總的流導系數
高缸在極限壓力附近的返流為分子流狀態，則此時高缸的間隙流導與壓力無關，只與高缸間隙大小相關，所以可設此時高缸的間隙流導為C 高缸。高缸沒有排氣閥，高缸的排氣壓力始終與低缸的進氣壓力相同，所以可得：
式中S 高缸理論—— 雙級滑閥泵高缸的理論抽速
P 極限—— 雙級滑閥泵的理論極限壓力
從上式可以看出，高、低缸的間隙共同決定雙級滑閥泵的理論極限壓力。由此可以推出：在實際運行中，雙級滑閥式真空泵的高、低缸的間隙越小，則泵的理論極限壓力越低，潤滑油的密封效果相對越好，從而使得雙級滑閥式真空泵的實際極限壓力越低。
綜上迅達真空設備廠所述，為了降低滑閥式真空泵的極限壓力，間隙應是越小越好。但間隙過小會使進入相對運動部件之間的油量過少，而不能保證零件之間充分的潤滑，從而容易造成零件相互咬合，使滑閥泵不能正常運轉，所以必須保證各零、部件之間有合適的間隙。當然，在保證潤滑效果的情況下，間隙應盡可能取小值。從設計角度考慮，可以采取改進運動件的材料、提高零件表面硬度等方法來降低運動件摩擦副之間的摩擦系數，從而從另一方面提高潤滑效果，減少間隙值，進而降低滑閥式真空泵的極限壓力。
標簽: 滑閥式真空泵 真空泵 迅達真空泵
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